ウェハー移載機 | FA機器 | 株式会社アドテックス

特徴

本製品は、半導体ウェハー検査工程で測定された検査データを元に、4種類のケースに供給する装置です。バーコード読み取りにより、上位マシンから検査情報及び仕様情報を取得、ウェハーを自動で移動します。

半導体製造工程で重要な、クリーンルーム内での無人作業を実現します。

仕様

■8箇所のテーブルに、Load側BOX、Unload側BOX及びError　 BOXを任意に挿入可能。

■現在の編成情報をリアルタイムで表示。

■ウェハー移載可能。

■上位編成データ・更新機能　他

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