| ■ ①区分編成機 | ウェハの編成処理・移載処理等（８個のステージを有します。〈ローダorアンローダ設定可能〉） |
| ■ ②IAIコントローラ | ･3軸コントローラ（ハンドリング及びセンサ・IO等のコントロール） ･I/F：RS-232C(シリアル通信) |
| ■ ③パソコン | ･区分編成機の制御およびデータ編集処理（上位システムとの接続が可能なものを ご支給ください） ･OS：Windows95 ･RS-232Cポート（NEC ハーフ14Pin）、及びPCカードスロットを有すること |
| ■ ④ＰＣカード | ･FA53・FA54システムとのイーサネット接続 ･イーサネット接続用PCカード（ノートパソコンPCスロット挿入） |
| ■ ⑤バーコードリーダ | ･バッチラベル及びBOXラベルの読み取り処理 ･PC9821ノートパソコン用キーボードI/F接続 |
【概要】
本製品は、半導体ウェハー検査工程で測定された検査データを元に、４種類のケースに供給する装置です。
バーコード読み取りにより、上位マシンから検査情報及び仕様情報を取得、ウェハーを自動で移動します。
半導体製造工程で重要な、クリーンルーム内での無人作業を実現します。
【仕様】
■８箇所のテーブルに、Ｌｏａｄ側BOX、Ｕｎｌｏａｄ側ＢＯＸ及びＥｒｒｏｒ ＢＯＸを任意に挿入可能。
■現在の編成情報をリアルタイムで表示。
■ウェハー移載可能
■上位編成データ・更新機能 他